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变形镜形变补偿的校正装置及补偿方法

1056   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:55:12
一种变形镜形变补偿的校正装置及补偿方法，装置包括变形镜，变形镜的下方粘结有透明复合材料薄膜，透明复合材料薄膜的外圈均匀连接有多个夹取装置，夹取装置外侧通过调节旋钮和镜筒的上部连接，镜筒的上部和下部通过紧固螺钉连接；调节旋钮外侧设有弹簧，夹取装置的下表面与镜筒的下部上表面接触；透明复合材料薄膜下方的镜筒设有顶柱，顶柱和微调旋钮通过螺纹连接在镜筒的下部；补偿方法是先通过调节旋钮拉伸弹簧，控制微调旋钮使顶柱与透明复合材料薄膜的下表面接触，然后使用激光干涉仪测量此时变形镜的面形数据，根据面形数据，调节相应的调节旋钮、微调旋钮，再测量调节后的变形镜的面形数据，直至补偿完成，本发明装置结构简单。
声明：
“变形镜形变补偿的校正装置及补偿方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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