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用于场区总剂量抗辐射加固的工艺

839   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:55:12
本发明涉及一种用于场区总剂量抗辐射加固的工艺，其包括如下步骤：a、提供衬底，并所述衬底表面形成第一二氧化硅层；b、在上述第一二氧化硅层上设置复合材料层；c、对上述复合材料层进行刻蚀，形成场区隔离结构；d、淀积多晶硅，通过刻蚀所述多晶硅在场区上形成多晶硅条；e、通过在衬底表面形成多晶硅条表面离子注入形成源漏重掺杂区，所述源漏重掺杂区位于复合材料层的两侧。本发明采用非晶硅材料层和通过PECVD淀积第二二氧化硅层形成的复合材料层，具有抗辐射性能优良和良好的电学隔离特性，能够在大剂量的辐射条件下，抑制NMOS场管的开启电压漂移，提高集成电路的抗总剂量辐射能力；加工工艺简单，具有很强的操作性。
声明：
“用于场区总剂量抗辐射加固的工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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