本发明涉及一种由含有金刚石
复合材料制成的受热器。除了40~90体积%的金刚石含量以外,该复合材料还包含0.005~12体积%的硅-碳化合物,7~49体积%的Ag-,Au-或Al-富集相和低于5体积%的其它相,Ag-,Au-或Al-富集相对碳化硅的体积比大于4,至少60%的金刚石表面被硅-碳化合物所覆盖。优选的制造工艺包括大气压和压力帮助的渗透技术。该部件特别适合作为半导体元件的受热器。
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