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同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺

806   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:53:48
同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺，涉及化学气相沉积技术领域。设备包括反应腔体系统、四条管路系统、真空系统和尾气处理系统，系统之间通过管路密封连接。四种前驱体源置于源瓶中，源瓶与四条管路分别相连。通过四个气动阀调控前驱体源的通入，N2作为源的载气，真空泵系统为设备提供一定真空度，尾气处理处理系统对反应后产物进行处理后排放；通入Al(CH3)3、H2O源，ALD沉积复合材料的Al2O3层，通入Ir金属化合物、O2源，ALD沉积复合材料的Ir层，将Ir化合物源通入反应腔内高温分解，CVD沉积Ir层。按照复合涂层工艺方案沉积，得到耐高温抗氧化、高粘附力、抗热震的Re基Ir‑Al2O3复合涂层材料。在航空航天、能源动力以及国防等领域具有广泛的应用。
声明：
“同腔原位复合沉积铱‑氧化铝高温涂层设备与工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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