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新型四氯化硅热氢化炉热场及热氢化炉

879   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:50:22
本实用新型提供一种新型四氯化硅热氢化炉热场，属于四氯化硅热氢化工艺设备技术领域。包括保温隔热层以及设置在保温隔热层内的碳/碳复合材料加热器：所述保温隔热层包括外保温筒以及内隔热屏；所述碳/碳复合材料加热器包括石墨夹头，石墨夹板，碳/碳复合材料加热带，所述碳/碳复合材料加热带整体弯制成型，碳/碳复合材料加热带的两个端头被石墨夹头和石墨夹板夹持，并通过紧固螺栓固定，所述碳/碳复合材料加热带的截面形状为S形。本实用新型还提供包括所述热场的热氢化炉。本实用新型提供的四氯化硅热氢化炉热场及热氢化炉适用于四氯化硅处理量在5吨/小时以上，可以保证SiHCl3生成率，有效降低能耗，提高设备稳定性。
声明：
“新型四氯化硅热氢化炉热场及热氢化炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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