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复合精细遮罩

966   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:50:21
本发明提供了一种复合精细遮罩，其包括复合材料薄片以及框架结构。复合材料薄片包括第一聚合物层、设置在第一聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在第一聚合物层的第二表面的第二金属层，其中第二表面相反于第一表面。复合材料薄片具有第一区和第二区，第一区环绕第二区，且复合材料薄片的第二区包括复数个图案化孔洞。框架结构焊接于复合材料薄片的第一区，其中框架结构包括框架以及设置在框架与第二金属层之间的应力调整层。应力调整层包括第二聚合物层、设置在第二聚合物层与框架之间的第三金属层以及设置在第二聚合物层和复合材料薄片之间的第四金属层。
声明：
“复合精细遮罩” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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