一种在热力学太阳能装置中使用的真空型接收管的光谱选择性吸收涂料薄膜,在中温(高至400℃)和高温(高至550℃)下工作,涂料中的光学吸收层是多层WyN-AlNx或MoyN-AlNx型金属陶瓷材料,材料用反应共溅射技术从Al靶和W靶或Mo靶上制备,制备过程在过渡方案、PEM(等离子发射监控系统)或CVM(阴极电压监控)只监控Al靶下实施,在Al靶附近充入足够量的N2以获得高透明度和高生长速度的亚化学计量级陶瓷AlN,在W或Mo靶附近充入足够量的N2以获得唯一的、在高温非常稳定的W2N或Mo2N相,以使金属陶瓷材料尽可能地接近分子式W2N-AlNx或Mo2-AlNx(x在0.90和1.00之间,优选0.95),因此,金属陶瓷材料可以用于至少550℃的高温。
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