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有机材料膜或有机无机复合材料膜的激光蒸镀方法、激光蒸镀装置

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:45:39
本发明的课题在于，解决因有机材料的气化而使得其它蒸镀用原料被污染、或者成膜速度不能控制而发生失控等现有技术中的问题，提供一种能够稳定地调节、控制成膜速度及蒸发速度的有机材料的激光蒸镀方法、激光蒸镀装置，在将至少一种有机材料进行激光蒸镀的方法中，其特征在于，对使该有机材料蒸发的激光的占空比进行调节。另外，其特征在于，基于上述有机物的蒸发速度、蒸镀用真空腔内的蒸气压对上述占空比进行调节。
声明：
“有机材料膜或有机无机复合材料膜的激光蒸镀方法、激光蒸镀装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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