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基于纤维复合材料的MEMS光扫描器

882   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:45:39
可以不使用基质材料而用纤维制造MEMS。在只在基片边缘连接纤维的地方可构造装置(例如悬臂、桥)。可以通过调整具有弱连接的多条纤维(如基部、末端、中间部位等)之间的连接来控制运动。驱动机构包括基部力(磁力、压电力、静电力)或尖端力(磁力)。可在悬臂梁的自由端形成反射镜来形成光扫描器。
声明：
“基于纤维复合材料的MEMS光扫描器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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