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用于批量合成复合材料的多元脉冲激光沉积系统和方法

856   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 16:43:05
本发明公开了材料学领域的一种用于批量合成复合材料的多元脉冲激光沉积系统和方法,包括使用几束高能激光,聚焦并让其蒸发不同的源材料靶材,产生不同的激光等离子束,然后不均匀的沉积源材料到基片上。本发明具有成本低,效率高,简单易用,协调性强等特点。本发明可用于新型材料研究中大批量的材料合成。
声明:
“用于批量合成复合材料的多元脉冲激光沉积系统和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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