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包覆硅的碳颗粒复合材料、制备方法和设备及用途

796   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:40:02
本发明涉及一种包覆硅的碳颗粒复合材料、制备方法和设备及用途，本发明使用低温等离子体反应分解制备纳米硅，能够在常温条件下化学气相沉积制备产品，得到包覆非晶硅层的碳颗粒；进一步地通过反应气流量、反应功率的调节，能够有效的调控纳米硅颗粒尺寸，可在5～1000nm范围内自由控制；通过将化学气相沉积室设计成旋转方式，能够有效的提高纳米硅与基底复合的均匀性；进一步地，通过对化学气相沉积速率、旋转速率等条件的控制能够得到厚度可控的硅层。
声明：
“包覆硅的碳颗粒复合材料、制备方法和设备及用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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