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基于氧化锆复合材料的湿敏传感器

963   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:32:04
本发明涉及一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器，该湿敏传感器为电阻式，包括硅片衬底，在硅片衬底上设有WO3薄膜，WO3薄膜之上设有插指电极，并且在WO3薄膜之上、插指电极四周设有ZrO2薄膜，在插指电极和ZrO2薄膜之上设有CeO2薄膜，即，在WO3薄膜和CeO2薄膜之间设有插指电极和ZrO2薄膜；这样使得该插指电极能够同时接触WO3薄膜、CeO2薄膜和ZrO2薄膜。
声明：
“基于氧化锆复合材料的湿敏传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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