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超大卧式CVD系统及制备炭／炭复合材料的方法

1104   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:30:02
本发明涉及一种超大卧式CVD系统及制备炭/炭复合材料的方法，该CVD系统包括卧式炉体和炉门，所述炉体内设有加热腔、与加热腔形成下进上出的导气输送结构，所述加热腔内设有保温桶，所述保温桶内设有坩埚、用于将导气输送机构输入的前驱体气体沿坩埚内外侧分流向上输送向加热腔出气口的分流导气结构和用于封盖坩埚顶端开口的阻气装置，所述系统还包括过滤装置、用于将导气输送结构导出的尾气输送向过滤装置的尾气输送管路。本发明通过合理的卧式结构设置，实现了有限高度下超大体积预制体沉积，同时通过水平分区控制，优化了流场和温度场，避免了大尺寸炉子沉积容易产生碳化，有效提高产品质量均一性。
声明：
“超大卧式CVD系统及制备炭／炭复合材料的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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