本发明公开了一种红外波段光阑复合膜、制备方法及
复合材料,属于光学薄膜制造技术领域。本发明红外波段光阑复合膜,具有双层膜结构,第一层为二氧化铪膜层,第二层为铬膜层,与氟化钙基底的结合力强,内应力小,采用照相复制法制备红外光阑工艺性好。本发明红外波段光阑膜层的制备方法,采用蒸镀的方式镀制二氧化铪膜层和铬膜层,而且分两次镀制铬膜层,确保后序采用照相复制法制备光阑线条平整光滑,无透光点,本发明制备方法工艺流程简单,易于操作实现,适于工业化推广应用。本发明红外波段光阑复合材料,基底材料为氟化钙,内层膜为二氧化铪膜层,外层为铬膜层,铬膜层与氟化钙的结合能力强,工艺性能好。
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