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基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料

946   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:24:02
基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料，其特征在于：选择石英基片 并将表面抛光，在其表面蒸镀SiO2膜；在SiO2膜表面蒸镀铬膜，在铬膜上涂覆光刻胶层；采 用电子束光刻方法，在光刻胶上制备介质光栅结构；采用湿法腐蚀技术，将光刻胶作为掩模， 腐蚀裸露铬膜；采用干法腐蚀技术，将铬膜作掩模，在SiO2膜上刻蚀介质光栅结构，去除铬 膜；采用侧向真空沉积技术，在SiO2光栅结构一侧侧向沉积厚度h金属层；同样在SiO2光栅 结构另一侧沉积相同厚度的金属层，形成顶部厚度2h，侧壁宽度h的“Π”形金属结构，基于 非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料制作完成。本发明具有制作简便，单 层损耗小，单层正入射以及双频的特性，在磁共振、近场光学、隐身材料等领域具有启 示的意义以及很大的应用前景。
声明：
“基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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