本发明公开了一种高致密度
复合材料包壳管的快速致密化方法,依次包括以下工序:工序A,沉积温度为1000~1050℃,沉积压力为200~1000Pa,H
2/MTS的摩尔体积配比在6.5~10范围;工序B,沉积温度为1050~1100℃,沉积压力为200~1000Pa,H
2/MTS的摩尔体积配比在6.5~10范围;工序C,沉积温度为1050~1100℃,沉积压力为400~1500Pa,H
2/MTS的摩尔体积配比在6.5~10范围;工序D,沉积温度为1050~1200℃,沉积压力为400~1500Pa,H
2/MTS的摩尔体积配比在4~10范围。实施上述快速致密化方法的装置,包括依次连接的导气管、气体混合滞留罐、基座、限域反应器和盖板。采用本发明提供的工艺及装置获得的SiC
f/SiC复合材料包壳管制备周期大幅缩短,且其具有致密度高、基体分布均匀的有益效果。
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