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纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法

1072   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:21:03
本发明公开了属于微型储能器件及微电子机械加工技术领域,特别涉及一种纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法。该三维微型超级电容电极为在硅衬底上依次为二氧化硅绝缘层、金属电流收集引出层及电极活性材料层,形成三维立体结构的超级电容电极。制作方法是通过MEMS刻蚀工艺在硅衬底上形成长宽深比为一定比例的沟槽,将通过有机粘结剂将电极活性材料、导电增强剂粘结、在沟槽中堆积并形成自支撑电极,刻蚀侧壁形成对插的三维电极,本发明采用向垂直于芯片面积的第三维方向延伸的三维电极结构,微型化、集成化程度高,从而形成的超级电容相对于电池可提供更高的功率输出,且具有更好的充放电可循环性和更高的充放电的效率。
声明：
“纳米多孔复合材料的三维微型超级电容电极及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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