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多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体

1002   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 16:21:01
本发明公开了一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备:1、采用短切纤维;2、制备预制体;3、预氧化和炭化处理;4、沉积处理;5、浸渍处理;6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备,具有很高的抗折强度,因此极大地延长发热体的使用寿命,同时可以减少发热体的制造成本,从而明显降低了氢化炉的使用成本。
声明:
“多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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