本发明公开了一种用于单晶硅炉重复加料的碳/碳化硅
复合材料加料筒,包括以下步骤:步骤一、将T700
碳纤维布和碳纤维网胎交替叠层针刺成筒型预制体,预制体的密度为0.4~0.5g/cm
3;步骤二、将筒型预制体放入化学气相沉积炉内增密至1.2~1.3g/cm
3;步骤三、将上述坯体放入高温石墨化炉内进行石墨化处理;步骤四、将上述坯体机械加工成加料筒规格;步骤五、将上述机械加工好的坯体,放入立式高温陶瓷化炉内,在坯体内部和表面制备碳化硅。其技术方案优点是,碳/碳化硅复合材料具有很高的硬度及耐磨性,不会对硅料造成二次污染;力学性能优异,加料筒的可靠性大大提高,降低了事故风险;抗热震性能良好,能够承受急冷急热,大大缩短了将加料筒从提拉筒转移出来的时间,有效提高了单晶硅棒生产效率。
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“用于单晶硅炉重复加料的碳/碳化硅复合材料加料筒” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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