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带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器

860   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:20:02
一种带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器,属于微机电系统技术领域。本发明包括:支撑基座、U型SU-8驱动层、U型金属加热层、热臂单元、冷臂单元、延伸臂。U型SU-8驱动层包括SU-8热臂、SU-8冷臂、SU-8柔性梁;U型金属加热层包括引线电极、蛇形金属热臂、金属冷臂、金属柔性梁;热臂单元包括SU-8热臂和蛇形金属热臂,冷臂单元包括SU-8冷臂和金属冷臂。U型金属加热层完全被U型SU-8驱动层包裹形成三明治结构,带有金属弧形触点的延伸臂垂直于或平行于热臂单元。本发明驱动位移较大、驱动端刚度较高、功耗低、能量利用率高、成本低。
声明：
“带有延伸臂的U型柔性梁复合材料电热微驱动器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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