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石墨烯-二硫化钨复合材料的气体传感器及制备方法

1042   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:15:03
本发明公开了一种石墨烯‑二硫化钨复合材料的气体传感器，自下而上依次包括硅基底层、二氧化硅绝缘层、电极层、石墨烯层和二硫化钨层，所述二氧化硅绝缘层覆盖于硅基底层上表面，所述电极层设置于二氧化硅绝缘层表面，所述电极层包括插齿电极和大电极，所述大电极位于插齿电极的两端，所述石墨烯层为单层石墨烯，覆盖于插齿电极表面，所述二硫化钨层的厚度小于10nm，设置于石墨烯层表面。本发明将石墨烯与二硫化钨进行复合，形成的复合材料作为气敏材料，二硫化钨弥补了石墨烯带隙为零的不足，石墨烯则弥补了二硫化钨吸附气体后，进行电学测试易造成层状堆叠的不足，两种材料优势互补提高传感器灵敏度。
声明：
“石墨烯-二硫化钨复合材料的气体传感器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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