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纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料及其制备方法

787   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:01:01
本发明提供一种纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料，包括多个由纳米二氧化硅包覆在纳米氮化硅表面形成的微粒，其中，所述纳米氮化硅与纳米二氧化硅的质量比为1:1~10:1。纳米氮化硅与纳米二氧化硅按质量比1∶1~10:1进行复合，使得该复合材料的稳定性好，介电常数较低，能够广泛应用于超大规模集成电路电子封装等领域。本发明还提供一种纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料的制备方法。
声明：
“纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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标签：
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