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纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法

605   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:58:02
本发明涉及一种纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法，本发明的步骤如下：将带C涂层的连续SiC纤维缠绕到样品架上，放入到磁控溅射设备的样品室；抽真空使背底真空优于8×10‑4Pa，通入Ar气，对样品架施加‑500～‑2000V高偏压，对纤维表面进行离子清洗；再通入反应气体氧气，结合闸板阀控制工作压强；启动溅射电源，在溅射过程中交替控制氧气流量或溅射偏压获得不同Y2O3相(单斜/立方)，实现相结构交替涂层；关闭溅射，在Ar气保护环境下，冷却至50℃以下。本发明中单斜/立方相交替形成的层界面有效降低了应力和改善附着力，制备出界面完好的SiC纤维增强镍基复合材料，有助于实现高性能纤维增强镍基复合材料的制备。
声明：
“纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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