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纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法

654   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:58:02
本发明涉及一种纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法,本发明的步骤如下:将带C涂层的连续SiC纤维缠绕到样品架上,放入到磁控溅射设备的样品室;抽真空使背底真空优于8×10‑4Pa,通入Ar气,对样品架施加‑500~‑2000V高偏压,对纤维表面进行离子清洗;再通入反应气体氧气,结合闸板阀控制工作压强;启动溅射电源,在溅射过程中交替控制氧气流量或溅射偏压获得不同Y2O3相(单斜/立方),实现相结构交替涂层;关闭溅射,在Ar气保护环境下,冷却至50℃以下。本发明中单斜/立方相交替形成的层界面有效降低了应力和改善附着力,制备出界面完好的SiC纤维增强镍基复合材料,有助于实现高性能纤维增强镍基复合材料的制备。
声明:
“纤维增强金属基复合材料Y2O3涂层的物理气相沉积方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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