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化学气相沉积碳与气相渗硅工艺联合制备SiCf/SiC复合材料的方法

1045   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:40:02
本发明公开了一种化学气相沉积碳与气相渗硅工艺联合制备SiCf/SiC复合材料的方法，包 括以下步骤：以SiC纤维为原料，采用三维编织技术制备SiC纤维编织件；以三氯甲基硅烷为 沉积原料，对SiC纤维编织件进行第一次化学气相沉积，沉积的SiC涂层厚度为0.1～70μm； 再以甲烷或丙烯气体为原料，通过第二次化学气相沉积对SiC纤维编织件沉积碳，得到SiCf/C 中间体；最后以单质硅为原料，采用气相渗硅工艺对所述的SiCf/C中间体进行渗硅得到 SiCf/SiC复合材料。本发明具有制备周期短、成本低等优点，能够制备得到高致密性、高力 学性能和热导性能的SiCf/SiC复合材料。
声明：
“化学气相沉积碳与气相渗硅工艺联合制备SiCf/SiC复合材料的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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