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非晶纳米复合材料薄膜及其制备方法和应用

713   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:38:01
本发明公开了一种非晶纳米复合材料薄膜及其制备方法和应用。本发明通过物理气相沉积的方法沉积到金属基体表面，非晶纳米复合材料薄膜包括在金属基体上依次设置的Ti或Zr金属层、TiAlCrZrCN层和SiTiAlCrZrCN层。一种非晶纳米复合材料薄膜的制备方法，采用真空电弧蒸发在金属基体表面先沉积一层Ti或Zr金属层，再沉积TiAlCrZrCN层，再在TiAlCrZrCN层表面上采用中频磁控溅射法形成掺杂Si的SiTiAlCrZrCN薄膜。本发明的薄膜的较低表面能和自清洁特性，从而实现金属基体表面抗油渍、食材、调味品粘附，水渍易清洁效果，同时非晶纳米复合材料薄膜还拥有高硬度、耐磨、耐高温、耐腐蚀等特点。
声明：
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