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新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺

920   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:31:01
本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO2球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO2纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化-还原，制取图案化碳-锡复合材料微结构。本发明提出了一种基于C-MEMS的优化工艺以制作图案化的碳-锡复合材料微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术和微纳米结构合成的方法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的碳-锡复合材料微结构有着较好的机械性能，较高的化学稳定性和较好的电化学性能。
声明：
“新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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