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复合涂层炭/炭复合材料坩埚及其制备方法

715   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:28:02
本发明公开了一种复合涂层炭/炭复合材料坩埚，包括炭/炭复合材料坩埚，附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅涂层，附着于碳化硅涂层上的硅涂层以及附着于硅涂层上的氮化硅涂层。另外，本发明还公开了复合涂层炭/炭复合材料坩埚的制备方法。本发明利用氮化硅结合碳化硅复合涂层，可以有效抑制含硅蒸气对炭/炭复合材料坩埚内型面的侵蚀，大幅度提高了坩埚的使用寿命。采用化学气相反应法原位生成SiC涂层，相对传统CVD法制备的SiC涂层，与炭/炭基体结合强度更高，同时原位生成过量的Si涂层为氮化硅涂层的生成提供了Si源，利用高纯氮气原位生成的氮化硅涂层结合强度提高，进一步提高了坩埚的抗侵蚀能力。
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