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金刚石-铝复合材料的磁控溅射镀膜方法

795   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:23:01
本发明涉及一种金刚石‑铝复合材料的磁控溅射镀膜方法。该磁控溅射镀膜方法的操作步骤如下：1.用砂纸研磨复合材料表面，之后将其放入无水乙醇中超声清洗干净；2.将样品放入超高真空磁控溅射设备中，先溅射一层金属铬，厚度为200～500nm，再溅射一层金属铜，厚度为1～2μm；3.进行镀后热处理，增加镀层与复合材料的界面结合强度。采用本发明的磁控溅射镀膜方法，可确保镀层与复合材料基体间的界面结合力强、界面热阻小，为常规的后续镀镍工艺带来方便，并可有效防止镀镍时复合材料与水接触所导致的性能衰退。镀镍后按照SJ20130‑92《金属镀层附着强度试验方法》中热震试验标准，在250℃以上热震循环10次后无起泡现象与裂纹产生。
声明：
“金刚石-铝复合材料的磁控溅射镀膜方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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