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复合材料及其制造方法和制造装置

974   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:17:02
提供一种复合材料和该复合材料的制造方法,所述复合材料是在形成于硅表面层的非穿透孔内,使用镀覆法以金属等以不形成空隙的方式填充,并且该硅表面层被金属等覆盖的粘合性高的复合材料。通过以位于从硅基板(100)表面形成的非穿透孔的底部的第1金属为起点,所述非穿透孔由使用自动催化型无电解镀覆法的实质上的第2金属或者所述第2金属的合金(106a)填充,并且硅基板(100)的表面由第2金属(106b)覆盖,从而可以得到所述第2金属或者所述第2金属的合金(106a)、(106b)与硅表面密合性高的复合材料。
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