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致密复合材料、其制造方法、接合体及半导体制造装置用部件

629   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:16:02
提供一种复合材料，所述复合材料与氮化铝之间的线性热膨胀系数差很小，并且具有足够高的导热系数、致密性和强度。本发明的致密复合材料包含含量最多的前三位的碳化硅、钛碳化硅和碳化钛，这三种物质按照含量从多到少的顺序排列，该复合材料是包含51-68质量%的碳化硅、不含有硅化钛以及具有1%以下的开口孔隙率的复合材料。例如，该致密复合材料的特性包括：40-570℃的平均线性热膨胀系数为5.4-6.0ppm/K，导热系数为100W/m·K以上，以及四点弯曲强度为300MPa以上。
声明：
“致密复合材料、其制造方法、接合体及半导体制造装置用部件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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复合材料
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