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基体前驱物液汽相热解制备碳/碳-碳化硅复合材料的方法

583   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:15:01
本发明公开了一种制备碳/碳-碳化硅复合材料的方法,包括下述步骤:将预制物增强体放在烘箱中烘干,在预制物增强体两端上下放置石墨垫块并紧固后放置在铜电极上,向沉积室注入六甲基二硅氮烷前躯物,并连续通入氮气排除沉积室内空气,接通电源加热预制物增强体,在10分钟由室温均匀升到700~900℃,期间不断注入六甲基二硅氮烷前躯物保持液面高度,保温0.5~15小时后关闭电源,自然降温至室温,回收沉积室剩余六甲基二硅氮烷前躯物,取出产品。由于采用了六甲基二硅氮烷作为基体前驱物和预制物增强体直接通电加热,制备时间从现有技术的一个月以上降低到0.5~15小时;而且一次连续沉积周期即完成制备;前躯物利用率从现有技术的不到5%提高到50%。
声明:
“基体前驱物液汽相热解制备碳/碳-碳化硅复合材料的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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