权利要求
1.SnO 2-MoSe 2复合材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤： （1）MoSe 2的制备：以钼酸钠和硒粉为原料，先后加入硼氢化钠、无水乙醇，进行水热反应，经过后处理得到MoSe 2纳米材料； （2）SnO 2-MoSe 2复合材料的制备：用乙醇溶解MoSe 2，然后加入SnCl 4•5H 2O，置于高压反应釜中反应；冷却至室温后，依次经过固液分离和干燥，最后将所得产物在氩气下退火处理，得到所述的SnO 2-MoSe 2复合材料。2.根据权利要求1所述的SnO 2-MoSe 2复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，后处理包括：当烘箱温度降至室温以下时，倒出反应釜内液体，用水和乙醇交替离心洗涤，干燥；将所得固体置于氢氧化钠溶液中，水浴，待冷却到室温后，继续用水和乙醇离心洗涤，最后进行干燥。 3.根据权利要求1所述的SnO 2-MoSe 2复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，置于200-240℃高压反应釜中反应25-30小时。 4.根据权利要求1所述的SnO 2-MoSe 2复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，将所得产物在300-350℃的氩气下以1℃/min的升温速率退火2-3小时。 5.根据权利要求1所述的SnO 2-MoSe 2复合材料的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，MoSe 2与SnCl 4•5H 2O的质量比为1：2-4。 6.基于权利要求1所述SnO 2-MoSe 2复合材料制备的MEMS二氧化硫传感器，其特征在于：包括以下制备步骤： （1）将微热板与管壳清理后，使用贴片机将微热板与管壳进行粘合，然后进行固化； （2）使用金丝进行微热板引线键合； （3）使用微电子打印机对键合完成后的微热板和管壳进行纳米材料喷涂，将纳米材料喷涂在微热板上，然后进行材料固化； （4）将密封胶在管壳周围均匀点胶，进行管帽封盖，固化； （5）使用表面贴装的陶瓷封装底座对微热板进行
声明：
“SnO2-MoSe2复合材料的制备方法、MEMS二氧化硫传感器及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：山东乾能科技创新有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
