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超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法

1031   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
一种超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法，包括基板制备、多束脉冲激光并行处理方式和表面光栅结构向石英玻璃衬底转移。该方法在激光光斑辐照的直径范围内，会自发形成周期精度很高的光栅结构，且其光栅结构可以无缝、整齐地随着激光光斑的移动扫描进行大面积自发生长；该方法具有光栅的制作速度高、光栅面积大、高质量和激光诱导自组装的特点。
声明：
“超短脉冲激光诱导自组装特性进行大面积光栅制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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