合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 功能材料技术

> 三维存储器结构及其制备方法

三维存储器结构及其制备方法

661   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明提供一种三维存储器结构及其制备方法，制备方法包括：提供半导体衬底；于半导体衬底上形成叠层结构，于叠层结构中形成沟道孔及栅极隔槽，于半导体衬底内形成源极区域；于栅极隔槽的内壁上形成外层及内芯。本发明将所述栅极隔槽填充为至少包括外层和内芯的结构，可以通过内芯的填充实现器件整体应力、电阻、漏电等情况的改善，在栅极隔槽中制备栅极隔槽腔，缓解器件结构的应力，可以减小器件电阻；将三维存储器的栅极隔槽制备成包括至少两个子栅极隔槽上下连通设置的结构，单个子栅极隔槽的制备易于控制，可以减小其关键尺寸，增加沟道孔与栅极隔槽之间的距离，可以增加后续栅极层的长度，减小栅极层的电阻，提高器件速度，优化器件性能。
声明：
“三维存储器结构及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
功能材料
上一个：有机化合物及采用该化合物的电致发光器件
下一个：颜料

与 “三维存储器结构及其制备方法” 相关技术

▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置
▪ 风机生产用自动冲拔一体机
▪ 粉碎机出料仓除尘结构
▪ 活性炭吸附过滤水循环利用装置

相关功能材料设备推荐

立轴混凝土搅拌机行星轨迹
溅射靶材
碳化硅振动筛
高强中导铜镍硅板带
蒸发材料
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置
▪风机生产用自动冲拔一体机
▪粉碎机出料仓除尘结构
▪活性炭吸附过滤水循环利用装置

报名参会
更多+

冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年07月26日 ~ 28日
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
7 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
8 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记