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高灵敏温控厚膜混合集成电路的集成方法

910   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
一种高灵敏温控厚膜混合集成电路的集成方法，该方法是：先采用丝网印刷的方法，印刷形成厚膜电阻、金属导带、金属键合区；再用丝网印刷的方法，印刷形成厚膜热敏电阻；用同样的方法在热敏电阻厚膜上形成厚膜绝缘介质层及芯片粘贴所需的厚膜金属化层；之后用常规混合集成电路组装工艺，将热敏传感信号处理芯片、温控器件主芯片、其他有源或无源元器件等直接装贴在厚膜基片上，用键合丝进行键合，最后在特定的气氛中将管基和管帽进行密封，即得到所需高灵敏温控厚膜混合集成电路器件。本方法实现了厚膜热敏电阻与温控器件主芯片在最大接触面的无间隙的原子间接触，可最大程度、最快地将主芯片的热量传导给热敏电阻，以实现高灵敏温度控制。
声明：
“高灵敏温控厚膜混合集成电路的集成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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