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纸基MEMS新型超疏水振动传感器及其制备方法

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:10:02
本发明公开了一种纸基MEMS新型超疏水振动传感器及其制备方法，传感器包括：纸基框，设置有通孔；纸基块，位于所述通孔内；4个纸基梁，两端分别连接所述纸基块和所述纸基框，在4个纸基梁上分别设置4个微米级V型槽，且4个微米级V型槽内分别设置4个导电层，由于2个微米级V型槽的开口朝向纸基梁的一侧，另外2个微米级V型槽的开口朝向纸基梁的另一侧。当纸基块受到力移动时，纸基梁弯曲，则2个微米级V型槽的开口张得更开，对应的导电层的电阻增大，另外2个微米级V型槽的开口趋近于闭合，对应的导电层的电阻减小。采用纸作为基底材料并形成导电层，制备步骤简单，且成本较低。
声明：
“纸基MEMS新型超疏水振动传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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