本发明公开了一种纸基MEMS新型超疏水振动传感器及其制备方法,传感器包括:纸基框,设置有通孔;纸基块,位于所述通孔内;4个纸基梁,两端分别连接所述纸基块和所述纸基框,在4个纸基梁上分别设置4个微米级V型槽,且4个微米级V型槽内分别设置4个导电层,由于2个微米级V型槽的开口朝向纸基梁的一侧,另外2个微米级V型槽的开口朝向纸基梁的另一侧。当纸基块受到力移动时,纸基梁弯曲,则2个微米级V型槽的开口张得更开,对应的导电层的电阻增大,另外2个微米级V型槽的开口趋近于闭合,对应的导电层的电阻减小。采用纸作为基底材料并形成导电层,制备步骤简单,且成本较低。
声明:
“纸基MEMS新型超疏水振动传感器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)