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透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法

647   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:05:01
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过非线性回归,库匹配等算法拟合提取待测样件的光学常数,特征形貌尺寸等信息。椭偏仪包括起偏臂(包括光源,透镜组,起偏器和伺服电机驱动的补偿器),待测样件和检偏臂(包括伺服电机驱动的补偿器,检偏器,透镜组和光谱仪)。本发明可实现各种信息光电子功能材料和器件,以及纳米制造中各种纳米结构的在线测量,具有非破坏性,快速和低成本的特点。
声明:
“透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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