本发明利用等离子体气相化学沉积类金刚石膜方法,采用多层弧面高频电极、可溶性衬底及衬底连续移动装置设计的类金刚石粉生产设备,解决了用于生产类金刚石粉的设备及其不间断连续运行的问题。从而实现了类金刚石粉的工业化生产。类金刚石与金刚石性能并不完全相同,具有优异的力学、化学、光学、电学、热学性能,属于
新材料领域的
功能材料。类金刚石(简称DLC)粉可以应用于制造研磨、抛光剂,抗化学腐蚀表面处理涂层,防紫外线涂层,抗老化剂,防晒护肤霜,集成电路热沉,高能电容器,化工催化剂、添加剂等产品的生产原料。在航天、军工、电子、机械、化工等行业具有广阔的应用前景。
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