本发明公开了一种金刚石-
石墨烯复合膜制备方法,该方法是采用化学气相沉积法制备金刚石-石墨烯复合膜,属于新型无机
功能材料制备技术领域。在异质基体表面进行特殊处理,获取特定高表面能、高密度基体表面微坑,诱导石墨烯生长;把基体放在直流等离子体喷射生长系统的真空沉积室内的基体上,生长单层或少层石墨烯薄膜;控制生长参数条件,实现表层石墨烯的碳键原子结构自协调演变成金刚石微观结构,进行金刚石膜生长,从而制备出金刚石-石墨烯复合膜。该制备方法具有工艺简单可靠、高效率、无污染,有利于环境保护,适合工业化生产。
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