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有机EL装置及其制造方法和制造装置、及液滴喷出装置

772   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:30
本发明提供一种在通过喷出功能材料而形成功能膜的过程中,可以有效防止其变质的有机EL装置的制造方法及其制造装置、以及有机EL装置、电子机器、液滴喷出装置。在使导入了发光功能材料的功能液滴喷头7相对于基板W进行扫描、选择性地喷出发光功能材料,在基板W上的多个像素区域中分别形成有机EL功能层的有机EL元件的制造方法中,喷出发光功能材料的喷出工艺在惰性气体环境中进行。
声明：
“有机EL装置及其制造方法和制造装置、及液滴喷出装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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