本实用新型涉及一种真空反应炉,其包括升华管,发热片,水冷电极,炉壳,气体分布板,石墨发热体,反应坩埚,炉盖,真空抽气口,冷凝器盖,冷凝器,冷凝盘,隔热套,测温热电偶锥套,石墨发热体底座和炉底盖。低温冷凝区使用独立的冷凝器嵌入放置于反应坩埚上,冷凝盘嵌入叠放于冷凝器中。低温挥发区和高温反应区都采用自动控温。高温反应区使用石墨发热体电加热,两层石墨隔热体中间加碳毡作隔热套。本实用新型体积小,功率小,冷凝性气体产物集中冷凝在冷凝器中,便于产物的收集,减少了腐蚀性气体对炉壳的腐蚀。
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