本实用新型具体涉及一种制备功能薄膜用高纯金属合金铸块的制备装置。一种制备高纯金属合金铸块的装置结构包括:坩埚,在所述坩埚外设有水冷套,在坩埚的上部设有感应加热装置;电子枪,所述电子枪设置在坩埚的上方,电子枪的发射口朝向坩埚内,在电子枪的两侧分别设有合金基料进料装置和合金小料进料装置。本实用新型以电子束加热的方式熔化合金基料,可以避免熔料过程中对金属的污染,同时可熔炼高熔点及难融金属,既保持了制备单一高纯金属,又增加了合金的熔铸,实现功能多样化,以水冷坩埚对熔体进行感应熔炼及保温,既可以避免与坩埚接触引入污染,又能通过涡流搅拌充分除杂、除气,有效控制铸锭杂质及气体含量。
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