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蒸发组件和方法

770   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:25
根据不同的实施方式，蒸发组件(100，300至900)可具有：多件式的壳体，该壳体(102)具有壳体槽(102w)和可从这个壳体槽上取下的壳体盖(102d)；坩埚(104)，其用于将容纳在该坩埚(104)中的蒸发物质从壳体(102)中热蒸发，该坩埚(104)具有至少一种耐高温材料；和坩埚保持结构(108)，其将坩埚(104)保持在壳体槽(102w)内并且与该壳体槽保持空间分离，其中，壳体盖(102d)具有蒸汽流出口(102o)，穿过该蒸汽流出口提供从壳体(102)中的热蒸发。
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