合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 冶金技术

> 真空冶金技术

> 离子植入装置和一种通过植入氢化硼簇离子制造半导体的方法

离子植入装置和一种通过植入氢化硼簇离子制造半导体的方法

1179   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:23
本发明描述一种离子植入装置和一种制造一半导体装置的方法,其中植入电离氢化硼分子簇以形成P型晶体管结构。举例而言,在制造互补型金属氧化物半导体(CMOS)装置中,植入该等簇以为源极和漏极结构与多栅极提供P型掺杂,此等掺杂步骤对于形成PMOS晶体管而言是至关重要的。该等分子簇离子具有化学形式BnHx+和BnHx-,其中10≤n≤100且0≤x≤n+4。
声明：
“离子植入装置和一种通过植入氢化硼簇离子制造半导体的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
真空冶金
上一个：高精度材料放气率测试系统及其测试方法
下一个：分子自组装水性工业漆

与 “离子植入装置和一种通过植入氢化硼簇离子制造半导体的方法” 相关技术

▪ 南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪ 上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪ 大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪ 中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪ 西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪ 转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪ 重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪ 将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪ 有色金属压延加工技术
▪ 铜冶炼渣的选矿技术和难点

相关真空冶金设备推荐

热处理网带炉
干法回转窑
椰奶复配溶液干燥机
三足分离机
精密陶瓷过滤机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪有色金属压延加工技术
▪铜冶炼渣的选矿技术和难点

报名参会
更多+

2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂资源综合利用关键技术
下载:181
2 绿色高效提炼稀有金属的研究
下载:148
3 我国主要有色金属湿法冶金技术现
下载:140
4 铜冶炼过程砷的控制和无害化处置
下载:128
5 铜冶金与钢铁基于双碳的学科融合
下载:113
6 矿相重构锂云母矿以同步提取锂铷
下载:109
7 双碳战略背景下的我国铜工业
下载:106
8 赤泥脱硫脱硝、回收铁铝及固化重
下载:105
9 硫代硫酸盐绿色提金及铜冶金固废
下载:103
10 三元正极废料中几种提锂工艺的介
下载:101
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1钼污染处理研究进展
2从红土镍矿中回收有价金属及酸再生循环的方法
3生产磷酸铁的方法
4硫酸锰溶液除杂方法
5从镍铁合金中高效分离镍和铁的方法
6氧化镍矿熔融还原硫化生产低冰镍的方法
7氧化铜矿浸出方法
8用铜精矿直接制取硫酸铜和阴极铜的方法
9有色金属冶炼矿石清洗用的污泥收集装置
10电积镍生产线萃余液除油工艺
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记