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镀膜对位装置和镀膜系统

1001   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明公开了一种镀膜对位装置和镀膜系统，用以降低生产成本，提高镀膜精度。所述镀膜对位装置，包括静电吸附装置、夹持机械手和对位装置，其中：所述静电吸附装置用于吸附待镀基板和掩膜板；所述夹持机械手用于夹持掩膜板的两端，并在所述对位装置对位后，将所述掩膜板贴附在所述待镀基板上；所述对位装置用于通过所述掩膜板上的对位标和所述待镀基板上的对位标对所述掩膜板和所述待镀基板进行对位。
声明：
“镀膜对位装置和镀膜系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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