本发明公开了一种扩散泵,特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵,它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。
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