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开管涂源全扩散制造低功耗雪崩晶闸管芯片的方法

926   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明涉及一种开管涂源全扩散制造低功耗雪崩晶闸管芯片的方法，包括1)工艺环境准备；2)超声波清洗；3)硅片清洗；4)清洗石英架、石英砣：5)硅片硼-铝扩散；6)氧化；7)一次光刻；8)磷扩散；9)割圆；10)烧结；11)二次光刻与蒸发一次成型；12)合金；13)台面处理；14)测试。与现有技术相比，本发明的有益效果是：1)采用硼-铝一次扩散，保证PN结前沿平缓及产品的一致性；2)采用二次光刻与蒸发一次成型技术，简化工序，降低物理损伤，提高成品率和产品性能的可靠性；3)在超净工艺环境中操作，特殊的清洗方法及优质清洗试剂保证长的少子寿命；4)新型烧结技术保证烧结变形小，粘接牢固，保证扩散参数稳定不变。
声明：
“开管涂源全扩散制造低功耗雪崩晶闸管芯片的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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