本发明提供一种高性能低游离硅含量反应烧结碳化硅陶瓷材料及其制备方法,所述碳化硅陶瓷材料的原材料包括碳化硅微粉,所述碳化硅微粉的粒径为0.1‑100μm,其中粒径为0.1‑10μm占所述碳化硅微粉总重量的30%,粒径为10‑100μm占所述碳化硅微粉总重量的70%;所述碳化硅陶瓷材料的抗弯强度≥220MPa,弹性模量≥280Gpa,所述碳化硅陶瓷材料中的残余游离硅含量不大于25wt%。本发明还提供一种由该碳化硅陶瓷材料制成的深海用无人滑翔机耐压舱壳体。
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