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钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法

1106   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:21
本发明公开了一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法，旋转靶材原子组成是Mo100‑x‑y‑zNixTiyAlz，且X、Y、Z表示原子组成百分比，10≤X≤40，1≤Y≤20，1≤Z≤18；制备先将钼粉、电解镍粉和钛铝预合金粉末按比例混合，然后进行脱氧提纯处理、进行球磨混合、灌粉振实处理、冷等静压成型、脱模、真空卧式烧结、旋锻处理、退火处理得到钼镍钛铝合金管锭，最后通过机加工切片制成钼镍钛铝合金靶材。本发明制备过程能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小，密度可达到理论值99%以上，能够完全满足目前大尺寸溅射靶材的镀膜要求。
声明：
“钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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