一种低偏析铝钪合金靶材是采用Al包覆Sc的核壳结构,其Sc含量为20~50at%,成分波动在±0.2%之内,氧含量小于200ppm,相对密度不小于99.5%的AlSc合金靶材;其制备方法,包括:加入粘结剂的Sc粉与Al粉混粉,热处理烧结粉末,获得核壳结构AlSc合金粉末,热压烧结及获得低偏析铝钪合金靶材;本发明形成的合金粉后,不存在后期传输过程由于两种粉末性质不同造成的二次偏析现象,经过后期热压烧结后可获得低偏析的AlSc合金靶材。
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